容器組件

干涉式同軸 3D 位移測量儀

  • 產(chǎn)品名稱：干涉式同軸 3D 位移測量儀
  • 產(chǎn)品型號：WI-5000 系列
  • 產(chǎn)品廠商：KEYENCE基恩士
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹

干涉式同軸 3D 位移測量儀

的詳細(xì)介紹
KEYENCE基恩士   干涉式同軸 3D 位移測量儀  WI-5000 系列 電/微   詳詢   趙13062644508

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采用白光干涉原理，可實現(xiàn)高速、高精度的3D測量。支持從高度差/體積測量等的測量到寬度/面積等各種測量。

產(chǎn)品特性

并非以點線測量，而是以“面”進(jìn)行測量
針對*大 10 × 10 mm 的測量區(qū)域，可瞬間獲取 8 萬個點的高度。 由于采用白光干涉原理，不受材質(zhì)/顏色、死角的影響，實現(xiàn)了微米級的高精度測量。


在線實現(xiàn)高速全數(shù)檢測
測量多點時，需要高精度且高速掃描目標(biāo)物。 因此，會將時間浪費(fèi)在移動載物臺上，不易進(jìn)行全數(shù)檢測。 由于 WI-5000 系列是以面進(jìn)行同時測量，因此可大幅縮短測量時間，實現(xiàn)全數(shù)檢測。

大幅削減離線檢測工時
為了用于離線檢測，備有可固定傳感器頭的專用底座。 配備可削減檢測工時的各種實用功能。 改善從簡易測量到保存數(shù)據(jù)等各種情況的可操作性。
  1. 工作原理：采用白光干涉原理，同軸設(shè)計，實現(xiàn)高精度 3D 測量。
  2. 主要特點：
    • 高速測量：0.13 秒內(nèi)獲取 8 萬點數(shù)據(jù)。
    • 高精度：微米級精度，不受材質(zhì)、顏色影響。
    • 面測量：無需移動載物臺，適合在線全檢。
    • 離線檢測：配備底座，減少工時。
  3. 技術(shù)參數(shù)：
    • 測量區(qū)域：*大 10×10mm。
    • 分辨率：高度、粗糙度等參數(shù)的*小顯示單位為 0.1μm。
    • 輸出接口：多種數(shù)字和模擬接口，支持 Ethernet、USB 等。
  4. 型號及應(yīng)用：
    • 控制器型號 WI-5000，支持 1 個測量頭。
    • 應(yīng)用案例包括晶圓檢測、BGA 端子高度測量。
  5. 環(huán)境適應(yīng)性：
    • 溫度范圍 0-45°C（DIN 導(dǎo)軌安裝）。
    • 防護(hù)等級未明確，但提到耐環(huán)境光照等。
  6. 電氣特性：
    • 電源 24VDC，電流消耗 2.7A。
    • 輸出類型包括光 MOSFET、RS-232C、Ethernet 等。




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