容器組件

半導(dǎo)體行業(yè)壓力表

  • 產(chǎn)品名稱： 半導(dǎo)體行業(yè)壓力表
  • 產(chǎn)品型號(hào)：GW35/GW45
  • 產(chǎn)品廠商：NKS 長(zhǎng)野計(jì)器
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簡(jiǎn)單介紹

半導(dǎo)體行業(yè)壓力表

的詳細(xì)介紹
NKS 長(zhǎng)野計(jì)器    半導(dǎo)體行業(yè)壓力表  GW35/GW45   電/微   詳詢    趙13062644508

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用于半導(dǎo)體氣體整合過程

即使在高純度半導(dǎo)體氣體和腐蝕性氣氣大氣中，它也表現(xiàn)出**的性能。
該壓力表的制造具有充分的氣密性和清潔特性，適用于半導(dǎo)體過程，尤其是高純度流體。
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： ico_rohs
特征
- 布爾登管，連接零件，箱子和內(nèi)部機(jī)器等米頭零件由不銹鋼制成，
使其不僅可以耐腐蝕，不僅可以測(cè)量物體，而且還可用于大氣。 - 在嚴(yán)格的質(zhì)量控制下 　進(jìn)**體接觸部件的焊接

，包括氬電弧焊接和壓力抗性和密封檢查　。 *選擇壓力表時(shí)， 　選擇壓力范圍，以使正常壓力的上限在以下范圍內(nèi)，以確保**性能。 　　對(duì)于恒壓：3/4壓力范圍的*大值 　?。?/3壓力范圍的*大值 　，并確保列出的氣體接觸材料與測(cè)得的流體兼容。




特點(diǎn)

  • 材質(zhì)優(yōu)良：波登管、連接件、外殼和內(nèi)部單元等主要部件均采用不銹鋼制成，具有良好的耐腐蝕性，不僅能抵抗被測(cè)主體的腐蝕，對(duì)大氣環(huán)境也有出色的耐受性，可適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的各種化學(xué)物質(zhì)和氣體環(huán)境2。
  • 焊接工藝先進(jìn)：氣體接觸部件的焊接采用氬弧焊，確保焊接質(zhì)量，在耐壓性和氣密性方面表現(xiàn)出色，能夠滿足半導(dǎo)體工藝對(duì)壓力表的高要求，防止氣體泄漏影響測(cè)量精度或造成**隱患2。
  • 高清潔度與氣密性：在制造過程中充分考慮了氣密性和清潔度，適用于半導(dǎo)體工藝中的高純度流體測(cè)量，避免雜質(zhì)或氣體泄漏對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)造成污染或干擾2。

工作原理

基于波登管的彈性變形原理。當(dāng)被測(cè)壓力作用于波登管時(shí)，波登管會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的變形，這種變形通過連接機(jī)構(gòu)傳遞給壓力表的指針或其他測(cè)量元件，將壓力變化轉(zhuǎn)化為可讀取的數(shù)值，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力的測(cè)量。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要用于半導(dǎo)體氣體集成工藝，在高純度半導(dǎo)體氣體和腐蝕性氣體氣氛等條件下能穩(wěn)定工作并表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，可**測(cè)量半導(dǎo)體制造過程中各種氣體管道、反應(yīng)腔室等部位的壓力，為半導(dǎo)體工藝的**控制提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持2。

選型要點(diǎn)

  • 測(cè)量范圍：根據(jù)實(shí)際測(cè)量需求選擇合適的壓力范圍。一般在恒定壓力下，*大工作壓力不超過所選壓力表滿量程的 3/4；在壓力波動(dòng)情況下，*大工作壓力不超過滿量程的 2/32。
  • 精度等級(jí)：根據(jù)半導(dǎo)體工藝對(duì)壓力測(cè)量精度的具體要求，選擇相應(yīng)精度等級(jí)的產(chǎn)品。
  • 接口類型：確保所選壓力表的接口尺寸和連接形式與實(shí)際使用的管道、設(shè)備相匹配，以便順利安裝和連接。


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