容器組件
真空泵
- 產(chǎn)品名稱： 真空泵
- 產(chǎn)品型號：SDL系列
- 產(chǎn)品廠商：日本樫山kashiyama
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
真空泵
的詳細(xì)介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產(chǎn)品特點(diǎn)
無油潔凈：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無油，可避免油蒸氣對工藝腔體的污染，適用于如半導(dǎo)體晶圓制造、LED 封裝等對潔凈度要求極高的工藝。
耐腐蝕性強(qiáng)：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可用于處理腐蝕性氣體的場景。
抽氣性能優(yōu)越：抽速范圍廣，為 10 - 1,500m3/h，極限真空可達(dá) 0.1Pa（0.001mbar），*大抽速可達(dá) 10,000L/min，能夠快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。
高效節(jié)能：配備變頻驅(qū)動（VFD），可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，相比油封泵能耗降低 30% - 50%。部分型號通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了低功耗化。
智能控制：具有實(shí)時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還設(shè)有自診斷系統(tǒng)，利用振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動停機(jī)保護(hù)。
功能靈活：部分型號支持氮?dú)獯祾吖δ?，氮?dú)饬髁靠稍?0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強(qiáng)了工藝靈活性。此外，產(chǎn)品兼容性好，支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場景。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：適用于晶圓制造過程中的 CVD/PVD 設(shè)備抽真空、光刻、蝕刻等關(guān)鍵工藝，可提供高真空度和潔凈的真空環(huán)境，避免油污染，滿足 Class 1000 潔凈環(huán)境要求。
LED 封裝：可用于固晶機(jī)、焊線機(jī)的無油真空吸附，確保封裝過程的潔凈度，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
化工領(lǐng)域：可用于處理腐蝕性氣體，以及各種化工行業(yè)的溶劑回收、脫水、干燥等工藝。
制藥行業(yè)：例如凍干機(jī)中的藥品凍干工藝，提供無油真空保障，符合 GMP 要求。
其他領(lǐng)域：適用于實(shí)驗(yàn)室的高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境控制，以及電子 / 電池、環(huán)保、能源等領(lǐng)域中對真空度和潔凈度有要求的工藝。
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產(chǎn)品特點(diǎn)
無油潔凈：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無油，可避免油蒸氣對工藝腔體的污染，適用于如半導(dǎo)體晶圓制造、LED 封裝等對潔凈度要求極高的工藝。
耐腐蝕性強(qiáng)：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可用于處理腐蝕性氣體的場景。
抽氣性能優(yōu)越：抽速范圍廣，為 10 - 1,500m3/h，極限真空可達(dá) 0.1Pa（0.001mbar），*大抽速可達(dá) 10,000L/min，能夠快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。
高效節(jié)能：配備變頻驅(qū)動（VFD），可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，相比油封泵能耗降低 30% - 50%。部分型號通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了低功耗化。
智能控制：具有實(shí)時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還設(shè)有自診斷系統(tǒng)，利用振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動停機(jī)保護(hù)。
功能靈活：部分型號支持氮?dú)獯祾吖δ?，氮?dú)饬髁靠稍?0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強(qiáng)了工藝靈活性。此外，產(chǎn)品兼容性好，支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場景。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：適用于晶圓制造過程中的 CVD/PVD 設(shè)備抽真空、光刻、蝕刻等關(guān)鍵工藝，可提供高真空度和潔凈的真空環(huán)境，避免油污染，滿足 Class 1000 潔凈環(huán)境要求。
LED 封裝：可用于固晶機(jī)、焊線機(jī)的無油真空吸附，確保封裝過程的潔凈度，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
化工領(lǐng)域：可用于處理腐蝕性氣體，以及各種化工行業(yè)的溶劑回收、脫水、干燥等工藝。
制藥行業(yè)：例如凍干機(jī)中的藥品凍干工藝，提供無油真空保障，符合 GMP 要求。
其他領(lǐng)域：適用于實(shí)驗(yàn)室的高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境控制，以及電子 / 電池、環(huán)保、能源等領(lǐng)域中對真空度和潔凈度有要求的工藝。