容器組件

HORIBA堀場制作所 雙通道高精度HF濃度計

  • 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場制作所 雙通道高精度HF濃度計
  • 產(chǎn)品型號：HF-SP-CU
  • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 雙通道高精度 HF 濃度計HF-SP-CU

HORIBA堀場制作所 雙通道高精度HF濃度計

的詳細介紹

HORIBA堀場制作所  雙通道高精度 HF 濃度計HF-SP-CU

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HORIBA堀場制作所  雙通道高精度 HF 濃度計HF-SP-CU

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高精度、高性能的 HF 濃度計支持 +/- 2.0 ppm（*高精度）微制程管理、高速采樣和輸出、雙通道傳感器和傳感器內(nèi)壓力校正功能。
適用于半導體精細制程控制。

概要

  • 高精度：+/- 2.0 ppm（*高精度）

  • 高速采樣和輸出

  • 雙通道傳感器實現(xiàn)了對供料槽和腔體的測量

  • 傳感器內(nèi)壓力校正功能


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