HORIBA堀場 平面碳傳感器電導率計

HORIBA堀場制作所 平面碳傳感器電導率計FS-09F-1/2

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研磨液濃度控制的理想選擇

有效保持恒定的研磨液稀釋度。保持適當?shù)碾妼手涤兄诒３志A拋光制程中的工藝穩(wěn)定性。即使是高粘度樣品液體（如 CMP 研磨液）也可以正常測量，因為其使用的傳感器結構降低了樣品液體附著在電極上的風險。同時，傳感器由具有良好耐化學性的接液材料制成，符合半導體制程的清潔度要求。此外，它還可以用于半導體制程開發(fā)階段的引入和特殊化學藥液的電導率控制。

概要

高精度/高穩(wěn)定性

• 測量范圍：0 至 2,000 μS/cm, 0 至 10,000 μS/cm

• 重復性：± 0.5% F.S.，± 1.0% F.S.

無金屬污染

由于電極材料采用特殊碳制成，因此無需擔心金屬洗脫污染問題。

配備濃度換算功能

通過輸入化學藥液濃度和電導率之間的關系以及溫度特性，可實現(xiàn)兩種不同類型的濃度換算。
特別適用于低濃度化學品的稀釋控制。

節(jié)省空間

通過縮小傳統(tǒng)電導率傳感器的尺寸，提高了安裝布局的自由度。