容器組件

HORIBA堀場(chǎng) 混合注入系統(tǒng)液體汽化器

  • 產(chǎn)品名稱:HORIBA堀場(chǎng) 混合注入系統(tǒng)液體汽化器
  • 產(chǎn)品型號(hào):MV-2000
  • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場(chǎng)制作所
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
HORIBA堀場(chǎng)制作所 混合注入系統(tǒng)液體汽化器MV-2000

HORIBA堀場(chǎng) 混合注入系統(tǒng)液體汽化器

的詳細(xì)介紹

HORIBA堀場(chǎng)制作所 混合注入系統(tǒng)液體汽化器MV-2000

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MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

概要

  • 使用螺旋流加熱方法實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的低溫汽化

  • 大流量汽化(增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù))

  • 可汽化易熱解的液體源


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