容器組件

HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器

  • 產品名稱：HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器
  • 產品型號：EC-5202
  • 產品廠商：HORIBA堀場制作所
  • 產品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器EC-5202

HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器

的詳細介紹

HORIBA堀場制作所 排氣壓力控制器EC-5202

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EC-5000 系列排氣壓力控制器可將處理室的壓力值維持在客戶設定的范圍。高分辨率步進電機和蝶閥設計確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應。

概要

優(yōu)點:

  • 適用于高真空環(huán)境：不銹鋼機身

  • 抗腐蝕：PTFE 機身可選

  • RoHS 標準

當排氣流量被調整到適合水平：

  • 抗蝕劑以薄膜形式均勻分布

  • 防止煙霧的二次沉積

  • 防止危險蒸氣擴散

與流量傳感器控制相比，由抗蝕劑和其他污染物累積引起的靈敏度變化較小，同時消除了湍流和其他噪聲的影響，確?？刂凭珳?、穩(wěn)定、迅速。


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