HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器

HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000

HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000

HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000

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FS-3000 結合了 HORIBA STEC 質量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，F(xiàn)S-3000 實現(xiàn)了穩(wěn)定的分流控制。

        控制算法通過控制流量比實現(xiàn)穩(wěn)定的分流控制，同時利用 HORIBA STEC 控制優(yōu)化技術控制 FS-3000 上流壓力。此外，即使分流比改變，控制算法也能實現(xiàn)對分流的高速響應。

• 提高可擴展性、維護性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達 15 個通道。若 MFC 出現(xiàn)故障，僅需更換故障從機即可。

• 靈活響應所需規(guī)格 FS-3000 支持混合氣體在內的多種氣體。此外，F(xiàn)S-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。