容器組件

HORIBA堀場 新型壓力補償流量控制器

  • 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場 新型壓力補償流量控制器
  • 產(chǎn)品型號：SEC-Z724SMG
  • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z724SMG

HORIBA堀場 新型壓力補償流量控制器

的詳細介紹

HORIBA堀場制作所 新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z724SMG

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HORIBA堀場制作所 新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z724SMG

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SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復雜性。新功能簡化了供氣系統(tǒng)。典型的多腔室氣體管線具有管線調節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現(xiàn)象。SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩(wěn)定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。

基本特征

  • 多氣體/多量程功能，客戶可以更改氣體類型和滿量程流量

  • 穩(wěn)定控制氣流，不受上流和下流壓力波動的影響

  • 集成多重顯示

  • 超潔凈設計：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）

  • 尺寸緊湊，50 SLM 以內(nèi)采用相同的安裝尺寸

  • 信號兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式

主要特征

  • 確保 1% 設定點精度（流量≥5%）

  • 高重復性（≤±0.15% 設定點/流量≥5%）

  • 范圍控制廣（0.5-100% 滿量程）

  • 可調響應（300ms≤t≤1000ms）

  • 高操作溫度（15-60℃）

  • 低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）

  • 高耐腐蝕性設計


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