HORIBA堀場(chǎng)制作所 流量控制器

HORIBA堀場(chǎng)制作所 流量控制器D717T

HORIBA堀場(chǎng)制作所 流量控制器D717T

HORIBA堀場(chǎng)制作所 流量控制器D717T

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*佳性能壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700T是性能*佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊，專為關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝而設(shè)計(jì)。D700T采用HORIBA CRITERION基于壓力的流量測(cè)量和控制技術(shù)，提供行業(yè)**的可重復(fù)和**的性能。此外，D700T的獨(dú)特之處在于采用**的先進(jìn)流量控制算法和雙閥結(jié)構(gòu)，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多種挑戰(zhàn)。

概要

≤100msec全線快速穩(wěn)定時(shí)間（可設(shè)為“設(shè)置”、“升壓”、“降壓”）

進(jìn)出口壓力不敏感性能

先進(jìn)的故障檢測(cè)，診斷壓力傳感器移位，閥座泄漏和流量精度變化

在0.15%標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格范圍內(nèi)可重復(fù)性

*佳精度規(guī)格在0.45% S.P.以內(nèi)*（標(biāo)準(zhǔn)：0.8% S.P.）

更寬的工作溫度范圍（15-60°C）

*注：D700T為單氣體配置。向堀場(chǎng)詢問(wèn)規(guī)格。

＊1  Flow rate accuracy can be guaranteed down to 0.1 SCCM N2 equivalent.
＊2  This is guaranteed value under 25 ℃ and ≤ 1 × 10-3 Pa (A).  
＊3  Setting time is MFC output signal and N2 gas at 25 ℃. Definition of setting time is 2 %S.P. or 0.05 %F.S. of the change in setting, whichever is larger. However, if the change in setting is less than 0.5 %F.S., 50 % of the change in setting.
＊4  Pressure perturbation has to be smaller than 20 % pressure change per second and ±70 kPa/sec. (±10 PSI/sec.)
＊5  Zero adjustment is required to eliminate orientation influence after installation.
＊6  EtherCAT® is a registered trademark and patented technology, licensed by Beckhoff Automation GmbH in Germany.