HORIBA堀場制作所 氣體監(jiān)測儀

HORIBA堀場制作所 氣體監(jiān)測儀IR-400

HORIBA堀場制作所 氣體監(jiān)測儀IR-400

HORIBA堀場制作所 氣體監(jiān)測儀IR-400

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

用于腔室清洗終點監(jiān)測的氣體監(jiān)測儀

IR-400 可在沉積過程中實時監(jiān)測腔室清洗終點。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。

• 多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)

• 高靈敏度

• 氣室加熱功能*高可達(dá) 180℃

• 多重顯示

• 模擬/數(shù)字通信

IR-400 實時終點監(jiān)測的優(yōu)勢

• 減少腔室清洗時間

• 減少清洗氣體使用量

• 可重復(fù)和可預(yù)測的清洗過程

• 延長腔室組件壽命

應(yīng)用示例 

• 監(jiān)控室排氣管線

測量技術(shù)

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進(jìn)行對比，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩(wěn)定的測量結(jié)果。