容器組件

IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵

  • 產(chǎn)品名稱:IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
  • 產(chǎn)品型號(hào):FLP-75W型
  • 產(chǎn)品廠商:IWAKI 易威奇
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簡單介紹
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵

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的詳細(xì)介紹

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氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP系列 不需要阻尼器,實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng),有助于降低總成本 它通過適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作


產(chǎn)品特點(diǎn)

低脈動(dòng):根據(jù)激光位移傳感器和接近開關(guān)的信號(hào),控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量,并通過切換電磁閥來減小脈動(dòng)。

優(yōu)異的負(fù)載跟隨性,適用于單晶圓工藝:通過執(zhí)行相位控制改善了負(fù)載波動(dòng)的可跟隨性。特別是在頻繁發(fā)生壓力波動(dòng)的生產(chǎn)線中,例如單張紙加工,其高負(fù)荷跟隨能力實(shí)現(xiàn)了排出量和排出壓力的穩(wěn)定操作。 

無需阻尼器,節(jié)省空間:由于不需要安裝阻尼器,因此實(shí)現(xiàn)了裝置的節(jié)省空間。管道工作也很容易,可以減少昂貴的管道材料,如氟樹脂配件,有助于更小更輕的設(shè)備。 

**設(shè)計(jì):波紋管焊接結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏,即使波紋管破裂,也會(huì)采用檢測漏液的泄漏傳感器,因此您可以放心使用。 

產(chǎn)品規(guī)格

*大放電量L/min 92
工作液溫度 5 ? 100 101 ? 150 151 ? 180
*大氣壓范圍MPa 0.1 ? 0.5 0.1 ? 0.4 0.1 ? 0.3
自吸能力注2m 1
*大液體輸送粘度mPa?s 50
環(huán)境工作溫度/濕度  /%RH 0 ? 60℃/ 30 ? 60%RH(無冷凝)
存儲(chǔ)環(huán)境溫度/濕度   /%RH -10 ? 60℃/ 20 ? 70%RH(無冷凝)
安裝環(huán)境 室內(nèi)(但塵土較少的環(huán)境)
使用條款  間歇性操作
使用方法 驅(qū)動(dòng)空氣外部強(qiáng)制切換系統(tǒng)
吸入側(cè)連接管道端口直徑 φ 31.8× φ 28.0mm(PFA)
排出側(cè)連接管道端口直徑  φ 25.4× φ 22.2mm(PFA)
供氣連接口直徑 Rc1/2
重量kg 42

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