IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
- 產(chǎn)品名稱:IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
- 產(chǎn)品型號(hào):FLP-75W型
- 產(chǎn)品廠商:IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔:
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
的詳細(xì)介紹IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
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IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP系列 不需要阻尼器,實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng),有助于降低總成本 它通過適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作
產(chǎn)品特點(diǎn)
低脈動(dòng):根據(jù)激光位移傳感器和接近開關(guān)的信號(hào),控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量,并通過切換電磁閥來減小脈動(dòng)。
優(yōu)異的負(fù)載跟隨性,適用于單晶圓工藝:通過執(zhí)行相位控制改善了負(fù)載波動(dòng)的可跟隨性。特別是在頻繁發(fā)生壓力波動(dòng)的生產(chǎn)線中,例如單張紙加工,其高負(fù)荷跟隨能力實(shí)現(xiàn)了排出量和排出壓力的穩(wěn)定操作。
無需阻尼器,節(jié)省空間:由于不需要安裝阻尼器,因此實(shí)現(xiàn)了裝置的節(jié)省空間。管道工作也很容易,可以減少昂貴的管道材料,如氟樹脂配件,有助于更小更輕的設(shè)備。
**設(shè)計(jì):波紋管焊接結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏,即使波紋管破裂,也會(huì)采用檢測漏液的泄漏傳感器,因此您可以放心使用。
產(chǎn)品規(guī)格
*大放電量L/min | 92 | ||
工作液溫度℃ | 5 ? 100 | 101 ? 150 | 151 ? 180 |
*大氣壓范圍MPa | 0.1 ? 0.5 | 0.1 ? 0.4 | 0.1 ? 0.3 |
自吸能力注2m | 1 | ||
*大液體輸送粘度mPa?s | 50 | ||
環(huán)境工作溫度/濕度 ℃ /%RH | 0 ? 60℃/ 30 ? 60%RH(無冷凝) | ||
存儲(chǔ)環(huán)境溫度/濕度 ℃ /%RH | -10 ? 60℃/ 20 ? 70%RH(無冷凝) | ||
安裝環(huán)境 | 室內(nèi)(但塵土較少的環(huán)境) | ||
使用條款 | 間歇性操作 | ||
使用方法 | 驅(qū)動(dòng)空氣外部強(qiáng)制切換系統(tǒng) | ||
吸入側(cè)連接管道端口直徑 | φ 31.8× φ 28.0mm(PFA) | ||
排出側(cè)連接管道端口直徑 | φ 25.4× φ 22.2mm(PFA) | ||
供氣連接口直徑 | Rc1/2 | ||
重量kg |
42 |