容器組件

IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）

  • 產(chǎn)品名稱：IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）
  • 產(chǎn)品型號：FA-40VEW型
  • 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
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簡單介紹
IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW） IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）

的詳細(xì)介紹

IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）

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IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）

IWAKI 易威奇氣動(dòng)波紋管泵（FA-40VEW）

氣動(dòng)波紋管泵 FA系列 用于晶圓清潔，氣動(dòng)波紋管泵。 我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對FA - 2型水平流型進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工，F(xiàn)A-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。

特點(diǎn)

1.我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對FA - 2型水平流型進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工，F(xiàn)A-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。

2.FA - 40VEW型采用厚波紋管。 它是一種長壽命設(shè)計(jì)，具有出色的耐壓性，可承受長期連續(xù)運(yùn)行。

3.氟樹脂用于所有潤濕部件。 它是一種無污染的設(shè)計(jì)，不使用橡膠或金屬，例如在泵的外圓周上涂覆氟樹脂涂層。 此外，由于FF-H系列的主體和波紋管是完全焊接的，因此熱循環(huán)不會有液體泄漏。

4.通過連接到專用控制器，可以輕松控制和管理排放量。

型 號

FA-2E-1

FA-40VEW

*大排放量 L/min

2

40

供氣壓力范圍 MPa

0.2～0.4

0.1～0.4

液體溫度范圍 ℃

5～100

*大耗氣量 NL/min

50

200

泵沖程數(shù) spm

Max.150

Max.80

泵連接端口直徑

Rc1/8

Rc1

空氣連接口直徑

Rc1/4

Rc3/8

環(huán)境溫度℃

0～40

驅(qū)動(dòng)方式

接近開關(guān)方法


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