容器組件
FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
- 產(chǎn)品名稱：FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
- 產(chǎn)品型號：FF-10BT/CT1型
- 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
的詳細介紹FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
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FF-10BT/CT1氣動波紋管泵IWAKI易威奇
簡單介紹：
IWAKI氣動波紋管泵 節(jié)能設計，減少空氣消耗 響應超潔凈的半導體工藝 F系列是專為半導體制造工藝設計的氣動波紋管泵。 從濕式清潔工藝開始，產(chǎn)品陣容充足， 它廣泛地適用于化學液體供應設備和CMP工藝。
節(jié)能設計：我們盡可能地減少了氣室的死體積，以減少空氣消耗。
中溫型和高溫型：FF系列可處理各種化學品，從常溫到高溫（20到180°C），中溫規(guī)格（PVC圓筒型：5到50°C，鋁圓筒型：5到100°C）和FF - H系列。
無污染：氟樹脂用于所有潤濕部件。 它是一種無污染的設計，不使用橡膠或金屬，例如在泵的外圓周上涂覆氟樹脂涂層。 此外，由于FF-H系列的主體和波紋管完全焊接在一起，因此熱循環(huán)不會發(fā)生液體泄漏。
**設計：帶內(nèi)置泵的接近開關采用可切換電磁閥的傳感器驅動系統(tǒng)。 泄漏傳感器也是標準設備。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 | FF-10BT/CT1 |
| *大排放量 L/min | 10 |
| 供氣壓力范圍MPa | 0.15～0.3 |
| 液體溫度范圍 ℃ | B型：5～100 C型：5～50 注 |
| *大耗氣量NL/min | 90 |
| 泵沖程數(shù) spm | Max.120 |
| 泵連接口直徑 | 1/2″ PFA管 |
| 空氣連接口直徑 | Rc1/4 |
| 環(huán)境溫度 ℃ | 0～40 |
| 驅動方法 | 接近開關方法 |
注：B型圓筒材料為Al +氟涂層，C型為PVC。
*大放電容量是根據(jù)淡水20°C的情況而定的性能。