IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
- 產(chǎn)品名稱：IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
- 產(chǎn)品型號(hào)：FS-H型
- 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔：
IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
的詳細(xì)介紹IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
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IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
IWAKI 易威奇FS-H系列氣動(dòng)波紋管泵
高速行程：通過(guò)*大化泵沖程（*大240 spm），我們實(shí)現(xiàn)了小尺寸，重量輕，低成本和減少脈動(dòng)。
無(wú)污染：氟樹(shù)脂用于所有潤(rùn)濕部件。它的設(shè)計(jì)沒(méi)有金屬暴露，如在泵的外圓周上涂覆氟樹(shù)脂涂層。
此外，采用我們專有的軸封（PAT。）進(jìn)一步減少了顆粒的出現(xiàn)。
液體溫度范圍廣·高壓放電：由于液體溫度范圍為5至180℃，并且排出壓力可以達(dá)到*大0.45MPa，
因此它不僅可以用于清潔工藝和CMP工藝，而且可以用于復(fù)合工藝。
產(chǎn)品規(guī)格
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排放量 |
55 L/min |
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供氣壓力 |
0.5 MPa |
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耗氣量 |
670 NL/min |
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行程數(shù) |
200 spm |
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主要材質(zhì) |
PTFE, PFA |
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液溫范圍 |
5～180℃ |